反応焼結炭化ケイ素製品の種々の特性評価方法および試験方法による研削、研削後の反応焼結炭化ケイ素セラミックスの表面および表面下モルフォロジーを研究し、材料の表面粗さおよび材料硬度を分析する。 表層および地下構造の影響
表面粗さRa、研削効率、表面モルフォロジーおよび研削後のSiCの表面下微細構造に対する、テーブル速度、研削深さおよび焼き戻し時間などのパラメータの影響を研究した。 具体的な方法は、反応焼結炭化珪素製品をダイヤモンド砥石で研削し、表面モフォロジー、残留応力、曲げ強度等の研削特性を観察する方法である。
結果は、反応焼結炭化ケイ素製品が主に脆性破壊によって除去され、局部的領域が塑性的に除去されることを示している。 軸方向供給が増加すると、反応焼結炭化ケイ素物品の表面粗さが増大し、粗さを減少させるために適切なライトナイフを実施することができる。 軸方向供給が増加するにつれて、反応焼結炭化ケイ素物品の粉砕ゾーンの冷却効果は弱まり、粉砕残留圧縮応力の値は低下する.http：//www.hshightec.com/
